铜电镀RDL工艺步骤及所需材料
2024-01-30 08:15:59
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图34、RDL技术的工艺流程（以电镀法为例）
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RDL 工艺和前道晶圆制造中后端布线的原理类似。RDL 的制作方式包括电镀法、大马士革、金属蒸镀+金属剥除等，由于电镀法成本低，被封测厂广泛应用，而利用前道晶圆制造中的大马士革原理的 RDL 工艺可以满足低线宽/间距（Line/Space，L/S）的需求。随着工艺技术的发展，RDL 金属布线的线宽和线间距越来越小，从而提供更高的互联密度。
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