半导体设备零部件:国产替代空间广阔,本土厂商持续扩产,有望持续放量 半导体设备零部件是决定设备核心性能与成本的关键环节,国产替代空间广阔。半导体设备零部件是一类在材料、结构、工艺精度、洁净度、可靠性与稳定性等方面均需满足半导体级标准的特殊组件,按应用领域可分为机械类、光学类、流体/真空系统类、电气类、机电一体类及仪器仪表类六大类,其中机械类应用最广、价值量占比最高。根据弗若斯特沙利文数据,国内零部件市场规模从2020年的765.4亿元增长至2024年的1,605.2亿元,CAGR达20.3%, 增速显著高 于设备市场整体水平。在设备厂商产能持续扩 张的拉动下,预计 2025E 市场规模将达 1,929.9 亿元,2029E 将达 2,735.3 亿元,2025-2029 年 CAGR 为 9.1%。