先进封装Bumping工序流程示例Bumping凸块替代传统封装中的金线键合，以微小的焊球或凸块实现芯片与封装载板的互联
2024-12-20 13:31:16
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各类型先进封装主要包含bumping、RDL、TSV及键合等互连工艺
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图20.先进封装Bumping工艺中使用PSPI和厚膜光刻胶
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作（Bumping）及三维硅通孔（TSV）等工艺技术。上述先进封装工艺技术涉及与晶圆制造相似的光刻、显影、刻蚀、剥离等工序步骤，使得晶圆制造与封测前后道制程中出现中道交叉区域。目前，带有倒装芯片（FC）结构的封装、晶圆级封装（WLP）、系统级封装（SiP）、2.5D封装、3D封装等均被认为属于先进封装范畴，上述先进封装大量使用RDL、Bumping、TSV等工艺技术，带动相关光刻胶及配套试剂需求。
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