图表5AMHS产业链情况
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AMHS 产业链主要包括上游零部件、中游 AMHS、下游应用三个环节。其中，上游零部件涵盖制造 AMHS 传送系统、存储设备、净化设备的标准化和定制化零部件等；中游AMHS 包括传送系统、存储及净化设备和软件系统；下游应用场景较为广泛，包括半导体制造、显示面板制造、新能源电池制造等。
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