异质结PECVD与HWCVD运营成本对比（元/W）
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HWCVD 具备成本优势。热丝 CVD 实现微晶需要增大电流而 PECVD 则需要加大射频可能产生驻波效应。相比之下，热丝 CVD 并无等离子体溅射损伤，H2 等特气耗量也显著低于 PECVD 路线，叠加无绕镀、无粉尘优势将大大提升有效工作时间。
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