陀螺仪/加速度计占据全球MEMS惯性传感器市
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MEMS 传感器的核心器件还包括加速度计，分为电容式、压电式、热感式以及谐振式等。加速度计通常由质量快、阻尼器、弹性元件、敏感元件和适调电路等部分组成。公司从事电容式加速度计的研发制造。MEMS 加速度计的核心是一颗MEMS 芯片、一颗 ASIC 芯片及应力隔离封装。MEMS 加速度计利用敏感结构将线加速度的变化转换为电容的变化量，最终通过专用集成电路读出电容值的变化，得到物体运动的加速度值。
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