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受益于公司设备装机量持续增长，根据公司2022年6月投资者交流公告，截至2021年底，KLA设备累计装机量超过4.8万台，80%以上的出货设备仍在客户端运行，50%以上的装机设备寿命超过18年，设备全寿命期的服务收入超过初始售价。一方面，设备装机量的持续增长将拉动服务收入，平滑客户资本开支变动对公司产品收入带来的负面影响。另一方面，服务业务促使公司与客户建立长期联系，随着设备运行数据的持续积累与分析，公司设备升级加速，客户需求匹配能力提升，进而拉动产品收入。
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