(仅系统)、服务以及其他(KLA Pro),2023Q3营业收入分别为10.1、5.4、1.1、0.7、5.6、1.0亿美元,同比-8%、-26%、-2%、-47%、6%、-10%。我们以晶圆检测(仅系统)、芯片检测(仅系统)及其他(KLA Pro)代表KLA量检测业务,2020-2023年前三季度量检测(仅系统)业务收入分别为37.3、54.4、74.1、50.1亿美元,假设KLA市占率维持2020年值50.8%(见27页),对应期间全球量检测市场规模分别为73.39、106.73、145.35、98.20亿美元,与本文第二章测算基本一致。