图33、半导体产业链中清洗涉及多个环节
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环节,用于去除半导体硅片制造、晶圆制造和封装测试每个步骤中可能存在的杂质,避免杂质影响芯片良率和芯片产品性能。目前,随着芯片制造工艺先进程度的持续提升,对晶圆表面污染物的控制要求不断提高,每一 步光刻、刻蚀、沉积等重复性工序后,都需要一步清洗工序。在芯片制 造 的过程中往
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