图2AlN和Al2O3的性能比较
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表4AlN粉体品质直接影响核心性能热导率
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表10国内外主要公司AlN产品性能指标
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图表46钙钛矿结构示意图(ALD-Al2O3封装层)
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AlN 的晶体结构决定了其出色的热导性和绝缘性。根据《氮化铝陶瓷的流延成型及烧结体性能研究》的研究中提到,由于组成 AlN 分子的两种元素的原子量小,晶体结构较为简单,简谐性好,形成的 Al-N 键键长短,键能大,而且共价键的共振有利于声子传热机制,使得 AlN 材料具备优异于一般非金属材料的热传导性,此外 AlN 具备高熔点、高硬度以及较高的热导率,和较好的介电性能。
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