图表24PERC电池生产中相关企业常用的Al2O3镀膜设备产能指标
2023-01-30 08:10:04
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公司 ALD 设备突破产能限制，首先应用于光伏领域。在常规单晶电池制造工艺流程中，仅电池正面需要用 PECVD 镀 SiNX，所以后来电池厂商优先运用 PECVD 技术在PERC 电池背面沉积 Al2O3。当时 ALD 技术在国外主要应用于半导体领域，大多属于单片式反应器类型，这种反应器虽然镀膜精度高，但产能较低。为了克服产能限制，2017年起国内 ALD 设备制造商陆续推出创新解决方案。公司进一步通过高产能真空镀膜技术、基于原子层沉积的高效电池技术等核心技术，解决了传统 ALD 技术速率慢的不足。根据中国光伏行业协会《2021-2022 年中国光伏产业年度报告》，公司量产设备镀膜速率已经突破 10,000 片/小时，打破制约 ALD 技术应用于光伏领域的产能限制，成为行业主流镀膜方案之一。2018 年、2019 年公司 PERC 电池背钝化设备装机容量市占率分别为41.16%、48.41%。
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