产业化Al2O3镀膜设备产能指标
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从产能指标角度看，公司 Al2O3 镀膜 ALD 设备性能具有领先性。从产业化生产常用的 Al2O3 镀膜设备产能指标（年产能数据按166mm硅片尺寸计算）来看，公司ALD镀膜设备产能达1万片/小时，对应年产能约480MW，与同样采用 ALD 技术的理想晶延及采用 PECVD 技术的捷佳伟创、Centrotherm 等相比有较大领先。
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