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外资品牌仍占主导地位，CR5 市占率达 78.4%。全球半导体真空泵市场呈现高度集中的寡头垄断格局，核心技术与绝大部分市场份额被欧洲和日本的老牌真空设备巨头把控，根据智能数据（DATA INTELO）数据，2025 年 Edwards 以 22%的市占率稳居第一，Pfeiffer Vacuum 市占率约 14%，Ulvac 和 Ebara 分别占 10%和 9%，中国企业的全球市占率仍处于较低水平。
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