电子气体分类及主要用途
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电子气体种类繁多，按照用途划分为电子特种气体和电子大宗气体两类。电子大宗气体一般用作电子工业生产的环境保护气、载气等，常用于高温热退火、保护气体、清洗气体等环节。电子特种气体普遍应用于半导体芯片、液晶面板材料制造等各个工艺流程中，比如清洗、沉积、光刻、刻蚀、离子注入、成膜、掺杂等环节。截至 2020 年，仅特种气体中的单一组分气（不包含混合气）已有 260 种，具有相近化学组成的同系物通常具有相似化学性质：例如氟化物（六氟乙烷、三氟化碳）都具有腐蚀性，常用作半导体刻蚀气；硅烷与乙硅烷都可用作气相沉积成膜工艺。
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