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分应用于关键区域抽检和复查，与光学检测技术形成互补。根据MMR，2022年全球电子束检测市场中，1nm以下应用占比过半，随着先进制程、复杂器件的持续发展，电子束检测技术优势愈发明显，2022-2029年全球电子束检测市场有望快速增长，CAGR预计为19.9%，2029年市场规模有望增至25.8亿美元，届时10nm以上应用将成为电子束技术的主要市场。
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