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电子束检测技术：精度高但速度相对较慢，适用于部分关键区域抽检或测量。电子束检测技术通过聚焦电子束扫描样片表面产生样品图像以获得检测结果，检测精度比光学检测技术更高，但检测速度相对较慢。在实际应用中，电子束技术一部分应用于研发环节，一部分应用在部分关键区域抽检或尺寸量测等生产环节，例如纳米量级尺度缺陷的复查、部分关键区域的表面尺度量测以及部分关键区域的抽检等，主流设备种类包括：电子束缺陷复检（DR-SEM）、电子束缺陷检测、电子束关键尺寸测量（CD-SEM）。2021 年应用材料半导体电子束检测设备营收约 10.8 亿美元，全球市占率近 50%，处于领先地；同时为了突破电子束检测产能限制问题，头部设备厂商也在攻克研发多电子束方案。
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