华海清科、烁科精微为国内主要CMP设备厂商
2024-08-21 08:15:48
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国内 CMP 设备的主要研发生产单位有华海清科和晶亦精微。晶亦精微前身为北京烁科精微电子装备有限公司，成立于 2019 年，系中国电子科技集团有限公司所属中电科电子装备集团有限公司设立的混合所有制公司，主要经营 CMP 设备的研发、生产及销售，其生产 公司深度 的 8 英寸 CMP 设备已通过中芯国际和华虹集团验证并实现商业销售，首台 12 英寸 CMP设备于 2021 年 2 月发往客户处进行验证。
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