芯碁微装泛半导体系列产销情况（单位：台/套）
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2021 年，芯碁微装泛半导体系列产品全年销售量达到 17 台，同比增长183.83%。泛半导体系列营业收入为 5562 万元，同比增长 393.49%，毛利率为62.04%。
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