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最内层的通道氧化物(Tunnel Oxide),这层材料往往非常薄(栅极加电压后产生量子力学的转移相应),一般只有小于20个原子直径的厚度,因此对薄膜沉积设备的均匀度等要求极大。最后,工程师会在存储通道内添加一层SiO的圆柱形结构,主要是为了保持通道的主体结构;
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