刻蚀设备是最重要的晶圆制造设备之一,大约占晶圆制造设备价值量的24%。晶圆制造主要包括光刻、刻蚀、薄膜沉积、检测和涂胶显影等十多类,在这当中光刻设备、薄膜沉积设备和光刻设备价值占比最高。
根据数据显示,2019-2021年全球干法刻蚀设备市场规模从109.2亿美元增长到188.6亿美元,同比增长38%。由此可见,预计到2022年全球干法刻蚀设备市场规模约为203.7亿美元,同比增长;了8%。
数据来源《中微公司-刻蚀设备执牛耳者,MOCVD再创佳绩-220313(30页)》
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