2020年全球薄膜沉积设备市场规模达172亿美元，预计到2025年市场规模将达340亿美元 ，复合年增长率近19%。高效能DRAM、AMOLED应用以及光伏等新兴应用需求增加是半导体薄膜沉积设备市场增长的核心驱动力。按镀膜原理不同，薄膜沉积设备可分为物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)、和原子层沉积(ALD)等;其中，CVD设备市场占比近57%，超半壁江山;PVD、ALD占约25%，ALD及其他镀膜设备占18%。
数据来源《北方华创-公司深度报告：晶圆厂扩张“卖水人”平台化布局“刻蚀+沉积+清洗+热处理”-20211113(105页)》
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