华兴证券2024年12月半导体行业报告系统梳理了美国自2022年以来对华半导体出口管制的演进路径。2024年12月2日,BIS发布的最新法案在实体清单、半导体设备、存储芯片密度、EDA工具等维度全面升级管制【3†L1-L8】。报告指出,美国管制范围已从设备材料向软件方向延伸,后续限制风险主要跟EDA、设备维护和零部件供给相关【1†L1-L12】。本文基于报告内容,分析美国出口管制对中国半导体产业的多维度影响。
1202法案五大维度全面升级对华管制
2024年12月2日法案首先在实体清单层面大幅扩容,北方华创、华封测控等企业被列入清单,部分企业添加“脚注5”后无法获得美国设备许可,也难以从盟国获取设备和材料【3†L1-L8】。被添加Footnote5的企业包括HW芯恩、福建晋华、中芯北京、中芯南方等,对国内先进制程扩产将产生负面影响【1†L1-L12】。
存储芯片方面,法案对DRAM存储单元面积和密度实施严格限制,超出规定范围的产品被视为先进节点并受限制【3†L1-L8】。对HBM裸片带宽密度进行限制,仅允许低于2GB/平方毫米的产品流通,由于当前高端在产HBM带宽密度大于等于2GB,此项规定限制了中国企业直接获取中高端HBM产品【1†L1-L12】。
EDA工具与软件层面限制加速收紧
2024年1202法案对提升半导体制造和设计良率的关键软件(如EDA工具)加强管控,限制其在先进节点技术中的应用【3†L1-L8】。报告指出,美国逐步从设备材料向软件方向延伸,除关键工艺设备零部件外,美国或下一步加强对软件和半导体IP的限制【1†L1-L12】。
由于许多中国大陆芯片设计公司仍然外采美国头部公司的EDA和IP产品,若下一步对美国公司的IP产品进行限制,或对一部分依赖海外IP的中国芯片设计公司的经营产生较严重影响【5†L1-L8】。2024年9月5日,BIS还对包括GAAFET、蚀刻和电子束流检查在内的某些半导体制造技术实施了全球出口管制【5†L1-L8】。
美系设备进口全面下跌,薄膜沉积与光刻机降幅最大
10M24期间,中国从美国进口的薄膜沉积设备金额同比下跌84%,化学气相沉积同比下跌13%,其他刻蚀及剥离设备同比下跌27%【9†L1-L8】。从荷兰进口的分步重复光刻机同比下跌83%,检测光掩模及光栅用的光学仪器同比下跌61%【13†L1-L8】。
同期,中国从美国进口的氧化扩散热处理设备同比上涨75%,离子注入同比上涨72%,晶圆检测同比上涨32%【9†L1-L8】。从荷兰进口的其他投影绘制电路制半导体件同比上涨76%,达到518.6亿元【13†L1-L8】。设备进口呈现明显的结构性分化,受限品类大幅下滑,不受限品类及替代来源品类则大幅增长。
表2:10M24中国从美国进口半导体设备金额变化| 设备品类 | 10M24金额(亿元) | 同比变化 |
|---|
| 薄膜沉积设备 | 1.8 | -84% |
| 化学气相沉积 | 21.6 | -13% |
| 其他刻蚀或剥离设备 | 1.9 | -27% |
| 氧化扩散热处理设备 | 35.6 | +75% |
| 离子注入 | 88.3 | +72% |
| 晶圆检测 | 88.6 | +32% |
设备维护与零部件供给成后续风险焦点
报告指出,若美日荷政府进一步限制或禁止针对关键设备(光刻机、刻蚀和薄膜沉积)的零部件获取或维护工作,中国先进制程逻辑和存储芯片的扩充节奏或受一定影响【1†L1-L12】。若荷兰政府禁止ASML通过第三方途径支持中国光刻机的维护工作,2000i型号以上的光刻机可能面临无法获得零部件和校正工具服务的风险【7†L1-L10】。
日本尚未出台进一步的限制措施,但报告不排除日荷政府或于近期出台新一轮限制措施的可能性【1†L1-L4】。日本2024年9月已新增5项半导体相关的特定货物及技术纳入出口管制,主要针对GAAFET结构【6†L1-L10】。