国金证券研报指出，国内光刻机产业链正迎来黄金加速期。自02专项以来，上海微电子在部分制程上已取得显著成绩，2024年工信部将国产KrF及ArF光刻机列入《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录》，标志着DUV光刻机已取得明确进展。产业链各环节——超精密光学（茂莱光学）、真空镀膜（汇成真空）、光学元件（福晶科技、波长光电）、精密光学（腾景科技）——均在加速突破。本文从整机进展、核心部件、投资标的三方面拆解国产光刻机产业链。
整机突破：上海微电子领跑，KrF/ArF列入首台套目录
国内光刻机整机产业正持续取得突破。上海微电子装备有限公司2002年成立，2007年研制出90nm工艺分布式投影光刻机，2016年90nm ArF光刻机SSA600系列实现出货。2024年工信部发布《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录》，将国产KrF及ArF光刻机明确列入，标志着我国在DUV光刻机已取得明确进展。在光源技术上，2025年哈尔滨工业大学官宣成功研制13.5nm波长的极紫外光刻光源，中科院上海光机所成功研发全固态深紫外光源系统，使中国芯片工艺推进至3纳米理论极限。双工件台方面，2020年华卓精科生产的光刻机双工件台打破ASML垄断。自02专项以来，以上海微为代表的光刻机整机公司在部分制程上已取得较为显著的成绩，完成了终端的0到1突破。攻坚克难正当时，产业进展有望迎来加速期，国产替代空间广阔。
表：国产光刻机产业链核心进展| 环节 | 进展 | 代表企业/机构 |
|---|
| 整机 | KrF/ArF光刻机列入首台套目录 | 上海微电子 |
| 超精密光学 | i-line光刻机搭载，PV<30nm | 茂莱光学、至期光子 |
| 光源 | EUV光源研制成功、全固态深紫外光源 | 哈工大、中科院上海光机所 |
| 双工件台 | 打破ASML垄断 | 华卓精科 |
| 真空镀膜 | 光刻掩膜版镀膜设备 | 汇成真空 |
核心部件国产化：超精密光学、光源、镀膜、双工台多点突破
光刻机产业链各环节均在加速国产化。超精密光学方面，茂莱光学2024年半导体领域收入2.33亿元同比增长37.17%，透镜、棱镜等精密光学器件从研发样品迈入批量生产阶段。至期光子（福晶科技持股45.79%）聚焦纳米及亚纳米精度超精密光学元件，面向半导体高端装备，2024年营收0.76亿元同比增长180%，2025年目标1.5亿元。光源方面，哈工大EUV光源研制成功，中科院上海光机所全固态深紫外光源系统研发成功。真空镀膜方面，汇成真空核心技术在于真空镀膜技术及成膜工艺，产品应用于光刻掩膜版等半导体高端装备，2024年营收5.2亿元同比增长35.8%，科研板块收入0.28亿元同比增长30.79%。双工件台方面，华卓精科打破ASML垄断。此外，波长光电与浙江大学极端光学技术与仪器全国重点实验室签署战略合作协议，针对高端光学器件合作研究包括用于半导体检测的剪切干涉仪、大数值孔径显微物镜以及先进制程光刻关键光学元件等项目，有望加速其在光刻机领域产品布局。国产光刻机产业链正从“单点突破”走向“系统集成”。
产业链优质标的：茂莱/汇成/福晶/腾景各具优势
光刻机产业链优质标的各具特色。茂莱光学是精密光学综合解决方案提供商，产品覆盖深紫外DUV到远红外全谱段，应用于半导体光刻机及检测装备，半导体收入占比46.29%且快速增长。汇成真空掌握真空镀膜核心技术，产品应用于光刻掩膜版，客户涵盖长春理工大学等科研院所，科研板块收入快速增长。福晶科技通过至期光子布局超精密光学元件，三大核心业务稳健增长，精密光学元件营收3.11亿元同比+24.18%。波长光电产品种类齐全，与浙大共建“联合实验室”加速光刻机领域产品布局。腾景科技受益于AI驱动，光通信领域业务开拓加强，2024年营收4.5亿元同比+30.96%。茂莱光学、汇成真空、波长光电、福晶科技、腾景科技、福光股份等产业链优质企业随国产突破与加速替代，有望持续受益于光刻机国产化进程。
