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光刻胶国产化进展

兴业证券报告指出,光刻胶作为半导体光刻工艺的关键材料,国产替代正进入攻坚突破期。2024年中国大陆半导体光刻胶市场规模达7.7亿美元(同比+42%),KrF光刻胶同比增长42.61%,ArF光刻胶同比增长45.84%。国内企业在高端KrF/ArF光刻胶领域正取得积极突破,彤程新材ArF光刻胶已通过客户验证并开始上量,鼎龙股份12款高端光刻胶送样验证,南大光电三款ArF产品通过认证并实现销售。高端光刻胶国产替代从0到1的突破正在加速。

光刻胶市场——7.7亿美元高增长,ArF/KrF是主战场

2024年中国大陆半导体光刻胶市场规模达7.7亿美元,同比增长42%。从细分品类看,G/I线光刻胶市场规模同比增长29.8%,KrF光刻胶同比增长42.61%,ArF光刻胶同比增长45.84%。KrF和ArF光刻胶合计贡献了市场的主要增量,反映了国内晶圆厂在先进制程领域的持续扩产和产能爬坡。

KrF光刻胶主要应用于0.25μm至0.13μm制程,ArF光刻胶则覆盖130nm至7nm的先进制造工艺。这两类光刻胶因其覆盖了从成熟制程到先进制程的主要节点,是现阶段迫切需要实现国产化技术突破的关键材料,具有十分重要的战略意义和经济价值。

从全球竞争格局看,高端光刻胶市场仍由TOK、信越化学、JSR、住友化学等日系厂商主导。国内企业在G/I线光刻胶领域已有规模化量产能力,但在KrF/ArF/EUV等高端品类上仍依赖进口,国产替代空间广阔。随着国内晶圆厂产能持续释放和制程节点提升,高端光刻胶市场需求将继续保持高增长态势。

彤程新材——ArF光刻胶通过验证开始上量

彤程新材是半导体光刻胶国产化的重要力量。2024年公司半导体光刻胶收入3.0亿元,其中I线光刻胶同比增长61%,KrF光刻胶同比增长69%,化学放大I线(ICA)光刻胶同比增长185%。ArF光刻胶已通过客户验证并开始陆续上量产生营收,EBR等产品也已产生营收。

彤程新材在KrF光刻胶领域的快速增长反映了国内客户对国产高端光刻胶的迫切需求。随着更多KrF和ArF产品通过客户验证并进入量产阶段,公司半导体光刻胶业务有望继续保持高速增长。从收入结构看,公司已形成从I线到KrF到ArF的完整产品梯队,后续随着ArF产品放量,收入规模和盈利能力均有较大提升空间。

鼎龙股份——20余款高端光刻胶布局,7款进入加仓样

鼎龙股份是国内领先的关键大赛道领域中各类核心“卡脖子”进口替代类创新材料的平台型公司。在高端晶圆光刻胶领域,公司已布局20余款产品,已有12款送样客户端验证,其中7款进入加仓样阶段,整体测试进展顺利。

2024年,公司浸没式ArF及KrF晶圆光刻胶产品首获国内主流晶圆厂客户订单,标志着公司在高端光刻胶领域实现从验证到量产的突破。产能建设方面,潜江一期年产30吨KrF/ArF高端晶圆光刻胶产线已具备批量化生产及供货能力;二期年产300吨KrF/ArF高端晶圆光刻胶量产线建设已进入设备安装阶段。

鼎龙股份在CMP抛光垫领域已是国内龙头(市占率约50%),CMP抛光液收入也快速增长(2024年2.15亿元,+179%)。高端光刻胶的突破将为公司打开新的成长空间,光刻胶业务有望成为继CMP材料之后的又一核心增长极。

南大光电与晶瑞电材——ArF光刻胶实现销售

南大光电是国内ArF光刻胶先行者之一。截至2024年底,公司三款ArF光刻胶产品已在下游客户通过认证并实现销售(2024年ArF光刻胶收入破千万),多款产品正在主要客户处认证。公司在该领域的持续深耕为后续产品放量奠定了基础。

晶瑞电材2024年光刻胶收入约2.0亿元,紫外宽谱系列光刻胶稳居国内市占率第一,I线光刻胶规模化向中芯国际、长鑫存储、华虹半导体、晶合集成等供货,多款KrF光刻胶量产出货,ArF高端光刻胶实现小批量出货,多款产品已向客户送样并开展验证。

从产业趋势看,高端光刻胶国产替代正处于从0到1的突破期。国内企业在ArF光刻胶领域从“送样验证”到“小批量出货”再到“量产销售”的路径正在逐步打通。随着更多产品验证通过和客户导入,国产高端光刻胶有望在未来2-3年内实现规模化供应。建议关注彤程新材(603650)、鼎龙股份(300054)、南大光电(300346)、晶瑞电材(300655)。
国内主要半导体光刻胶企业进展对比
公司2024年光刻胶收入I线进展KrF进展ArF进展
彤程新材3.0亿元同比+61%同比+69%通过验证开始上量
鼎龙股份获客户订单浸没式ArF获订单
晶瑞电材2.0亿元规模量产多款量产出货小批量出货
南大光电ArF收入破千万三款实现销售
点击阅读报告原文: 半导体材料行业:承接Capex后周期产能释放和需求复苏持续看好Opex业务景气度提升-250615(28页)
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