OPC处理前后的图形及其曝光结果
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➢ 偏振照明：通过起偏器可以将自然光转换为偏振光，起偏器只允许特定方向振动的光通过，而吸收或阻挡其他方向振动的光。检偏器则用于检测光的偏振状态，通过偏振照明，以减少反射眩光，提高对比度。
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