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光源供应商格局高度集中，Cymer 与 Gigaphoton 形成双寡头垄断。目前，全球光刻机光源市场几乎由Cymer 与日本Gigaphoton两家企业垄断，其中Cymer 在 2013 年被ASML全资收购，系其内部核心供应平台，也是目前唯一实现 EUV 光源量产的厂商。Gigaphoton则凭借与日本设备厂及晶圆厂的长期合作，稳固了其在 KrF 与 ArF 光源的市场份额，在DUV 领域与 Cymer 形成均势，同时已研发出可应用于检测系统的 EUV 光源，在 EUV 光源领域加速追赶。
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