池的正负电极均处在电池片背面,在基区前表面产生的载流子需要穿过整个基区才能到达背面被电极收集,这就要求载流子有较长的扩散长度;由于载流子的扩散长度与其寿命的平方成正比,业界普遍通过加强钝化的方式降低表面复合速率、提升载流子寿命。因此相比传统 PERC等技术路线,BC 电池前表面的钝化要求更高,在 SiNx/SiO2 钝化层之外,IBC 电池通常还可能叠加一层更高掺杂浓度的 FSF,以分离不同种类的载流子、增强钝化效果;若 xBC 电池在前表面制作过程中额外增加一道掺杂扩散的生产工艺,则该种路线的高温扩散炉设备需求提升。 2) 背面发射极由两种重掺杂区交替构成,制备流程复杂:与 PERC、TOPCon 等技术仅在正面进行一次掺杂的工艺不同,BC 电池背面需要形成交替排布的 + 进行硼和磷两种掺杂,为阻挡反型层的扩散,背面发射极的制备过程需要反复沉积薄膜并刻蚀,同时为避免 +P 区和 +N 区直接接触导致短路,还需要采用激光刻蚀分隔两区域。由此可见,BC电池的背面图形化工艺在掩膜刻蚀、极区分隔的工艺中对激光刻蚀设备的需求量显著提升,同时由于制作过程涉及反复的多晶硅与掩膜沉积,因此 CVD 或 PVD 等设备需求亦有所提升。 3) 电极印刷需保证较高的精准度,避免短路:在金属电极印刷的过程当中,BC 电池需要分别将正负电极精准印刷在 + 错误导致 +P 区和 +N 区相互连接,则会造成短路,因此 BC 电池金属化过程对丝网印刷精度要求较高。