图表20LPCVD与PECVD工艺流程
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捷佳伟创布局 LPCVD和 PECVD两条技术路线，近期 PECVD路线发展提速，特别是其自主研发的 PE-Poly设备，实现了隧穿层、Poly层、原位掺杂层的“三合一”制备，不仅解决了传统 LP路线中绕镀、能耗高、石英件高损耗的固有难点，且原位掺杂时间仅为 LP路线的五分之一，从设备成本、运营成本、到产品良率及转换效率已具备明显优势，正加速获得市场验证与订单青睐，天合、通威、晶澳、润阳等越来越多的光伏厂商或考虑应用，后续有望进一步扩展应用范围。
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