华卓精科HBS系列全自动晶圆混合键合系统
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公司 DWS 系列光刻机双工件台采用平台化、模块化的设计，可实现优于 4.5nm 的运动平均偏差，正在研发中的 DWSi系列光刻机双工件台运动平均偏差优于 2.5nm，可应用于 ArFi光刻机。
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