2019-2020年拓荆在本土PECVD市占率约17%
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CVD 设备具有更大市场空间且国产化率仍有待提升，如拓荆科技在 PECVD 和SACVD 领域的市场份额分别为 17%和 25%，微导纳米布局 CVD 进行差异化竞争。基于客户关键工艺开发的战略需求，公司以 CVD 的硬掩模工艺为切入点，差异化开发多种 CVD 真空镀膜产品。相关产品可应用于芯片制造硬掩膜与高级图案化、钝化层、扩散阻挡层、介电层、电容覆盖层等领域。
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