每万片产线对薄膜沉积设备需求量（单位：台/每万片）
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得晶圆制造的复杂度和工序步骤都大大提升，为保障总体产能，单位产线需要更多的薄膜沉积设备。中芯国际 180nm 8寸线每万片需要的CVD设备在 9.9 台、PVD 设备在 4.8 台，而到其 90nm 12 寸线，每万片需要的 CVD 设备升至 42 台，是之前的 4 倍以上，每万片需求的 PVD 设备在 24 台，是之前的 5 倍。未来随着 5G、HPC、AI、ADAS 等新技术对制程要求越来越高，先进制程需求势必将迎来较成熟制程更快的成长，将进一步带动薄膜沉积设备市场加速增长。
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