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持续推进技术升级与产品迭代,强化研发能力。公司各条产品线持续推进,例如:匀气盘业务方面,螺纹斜孔匀气盘已实现规模化量产,成功应用于 PEALD 机台;加热匀气盘完成研发并加速推进客户验证,能够适配 CVD、ETCH 等核心机台;交叉孔焊接匀气盘结构复杂已实现量产突破,主要配套 ALD、PVD 设备;金属加热盘研发成功突破海外技术壁垒,多型号量产,成为国内主流客户主要供应商。随着各项业务的拓展协同,公司发展有望迈上新台阶。
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