制备微晶硅的难点在于速率和均匀性的解决，VHF+小腔体为关键
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匀性的问题：制备微晶硅需要增加氢稀释率，RF 电源的沉积速率比较慢，解决方案包括提高功率、提高频率、增加设备等，迈为采用了增加频率的方案，采用 VHF 电源，提升镀膜速率（较 RF 提升 2 倍以上）、降低氢气用量（较 RF 节省 70%左右）、效率比 RF高 0.5%以上，但 VHF 的问题在于均匀性变差，从下左第三张图表明，四分之一波长是PECVD 腔体尺寸的极限，尺寸不能大于四分之一波长，RF 频率为 13.56mhz，四分之一波长是 6 米，即 RF 搭配尺寸为 6 米的大腔体，VHF 频率为 40mhz，四分之一波长为 2米，即 VHF 搭配尺寸为 2 米的小腔体。该工艺主要的优势是可以提高电池片效率 0.2%左右。
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