图表32不同光刻气下的紫外光源波长
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图7 受到美国互惠关税影响最大的五种农业食品产品
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光刻过程中一般用到的电子特气为光刻混合气（Ar/F/Ne 、Kr/Ne 、Ar/Ne 、Kr/F/Ne 混合气等），这种混合气体在高压受激发后，就会形成等离子体(部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负离子组成的电中性离子化气体状物质)，在这个过程中，由于电子跃迁，会产生固定波长的光线，激发出来的紫外光线经过聚合、滤波等过程就会产生光刻机的光源，再经过复杂的光路对硅晶圆进行光刻。
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